工艺流程: ??? 上片→预喷淋洗→高压喷淋洗+滚刷洗→纯水冲洗→风切干燥(含除静电装置)。 技术要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.机架采用工业不锈钢型材,槽体采用SUS304/316不锈钢板。 ????3.电器件为世界。 ??? 4.喷淋段加热为选用项(一般选配80~120KW加热机)。 ??? 5.输送方式:全SUS
2013-03-08 0工艺流程: ??? 上片→切液1→蒸汽清洗→洗剂滚刷洗→切液2→DI水盘刷洗→切液3→DI水滚刷洗→DI喷淋洗1→BJ喷洗→DI水喷洗2→风切干燥→下片(含除静电装置) 技术要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.全线运行监测和触摸屏显示。 ??? 3.机架采用工业铝型材,清洗槽采用进口透明无静电PVC板,其他为SUS304/31
2013-03-08 0上片→切液1→蒸汽清洗→洗剂滚刷洗→切液2→DI水盘刷洗→切液3→DI水滚刷洗→DI喷淋洗1→BJ喷洗→DI水喷洗2→风切干燥→下片(含除静电装置) 技术要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.全线运行监测和触摸屏显示。 ??? 3.机架采用工业铝型材,清洗槽采用进口透明无静电PVC板,其他为SUS304/316不锈钢制作。 ??
2013-03-08 0上片→切液1→蒸汽清洗→洗剂滚刷洗→切液2→DI水盘刷洗→切液3→DI水滚刷洗→DI喷淋洗1→BJ喷洗→DI水喷洗2→风切干燥→下片(含除静电装置) 技术要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.全线运行监测和触摸屏显示。 ??? 3.机架采用工业铝型材,清洗槽采用进口透明无静电PVC板,其他为SUS304/316不锈钢制作。 ??
2013-03-08 0上片→切液1→蒸汽清洗→洗剂滚刷洗→切液2→DI水盘刷洗→切液3→DI水滚刷洗→DI喷淋洗1→BJ喷洗→DI水喷洗2→风切干燥→下片(含除静电装置) 技术要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.全线运行监测和触摸屏显示。 ??? 3.机架采用工业铝型材,清洗槽采用进口透明无静电PVC板,其他为SUS304/316不锈钢制作。 ??
2013-03-08 0工业流程: ??? 入料→切液1→蚀刻1(2米)→蚀刻2(2米)→切液2→四级DI水喷淋洗→切液3→检查→切液4→脱膜→切液5→DI水滚刷洗→DI水喷淋洗→超声波清洗→切液6→四级DI水喷淋洗→风切干燥→出料 技术要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.机架采用工业钢型材烤漆处理,槽体采用SIMONA象牙色PVC板,其他为SUS30
2013-03-08 0工艺流程: ??? 入料→切液1→显影→切液2→四级DI水喷淋洗→风切干燥→出料。 技术要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.机架采用工业钢型材烤漆处理,槽体采用SIMONA象牙色PVC板,其他为SUS304/306不锈钢和耐腐蚀材料制作。 ??? 3.传动结构为45度PVDF/UPE斜齿轮传动,其中主传动齿轮浸泡在水内。 ?
2013-03-08 0技术要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.全线运行监测和触摸屏显示。 ??? 3.机架采用工业铝型材,槽体采用进口6061铝板,其他为SUS304/316不锈钢制作。 ????4.电器件为世界。 ??? 5.设备配备氮气均匀系统和水冷却系统。 技术参数: ??? 1.设备尺寸:540mm(L)*2500mm(W)*3000m
2013-03-08 0工艺流程: ??? 升降机→EUV清洗→滚刷清洗→BJ清洗→水刀冲洗→风干→升降机 技术要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.全线运行监测和触摸屏显示。 ??? 3.机架采用工业铝型材,清洗槽采用进口透明无静电PVC板,其他为SUS304/316不锈钢制作。 ????4.电器件为世界。 ??? 5.管路为洁净无菌管。 技术
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