南轩（天津）科技有限公司

1）适用于多种规格金属的腐蚀清洗，同一台设备可编程多套运行软件 2）自动上下料，上料位配置提升装置 3）纯水慢提拉槽干燥下料 4）根据工艺需求，槽体可匹配超声、抖动、旋转、循环过滤等功能 5）全自动控制，可选择自动配补液，保证了操作的安全稳定性 6）高速移载机械手，伺服驱动控制，保证运行平稳，定位可靠 7）机械手直接夹取PFA卡塞，更好的满足客户需求 8）采用国际知名电气元件 ?

石英在线加热器 南轩自制加热器，采用国际品牌零件； 材质：PVC外壳，内置防腐蚀材料零件，寿命长

一种硅片边缘刻蚀专用吸盘 材质：CL-PVC, U-PVC 介绍：1）包括吸盘主体，所述吸盘主体的顶端中间部位安装有定位机构; 2）所述吸盘主体的内部安装有真空腔室; 3) 所述吸盘主体的底端安装有密封圈安装槽，可以保证刻蚀过程中对背封膜的保护； 4) 能让真空分布更加均匀，吸附后硅片平整，有利于刻蚀效果； 5）水洗时吸盘自身的残酸更易清洗，且带水量更少，吸盘的实用性十分高。 ?

采用高温防火、日本三菱板材外壳， 内部采用国际品牌电气元件 可根据客户要求加工定制

1） 采用工控机 PLC 条码枪控制，方便信息的读取、记录，可与工厂MES系统相连接； 2） 适用于多种规格硅片的腐蚀清洗，同一台设备可编程多套运行软件； 3） 跟据工艺需求，槽体可匹配超（兆）声、抖动、旋转、溢流循环等功能； 4） 全自动控制，可选择自动配、补液，保证了操作的安全稳定性； 5） 高速移载机械手，伺服驱动控制，保证运行平稳，定位可靠； 6） 机械手直接夹取PFA篮筐（或夹取片子），

1）适用于6-8”硅片的去边处理； 2）具有两套硅片上料线，由机器人把硅片从上料端搬运到寻参定位中心位置； 3）用真空吸盘吸附的方式进行硅片的搬运； 4）在下料位有下料槽，片篮可上下移动，人工手提片篮下料； 5）设备由PLC控制，各部分均可以操作； ? ?

1）适用于玻璃基板清洗，可达到1100mm×1400mm 2)? ?自动化程度，性能稳定，安全可靠 3）采用螺旋齿轮转动，结构合理，传动平稳 4）先进的风刀切水系统，出水效果更好 5）可配置喷淋、滚刷、在线式超声波清洗等多种清洗工艺方式

品牌：NXXD 适用于清洗设备中，用于水洗槽、清洗槽的排液。

理片器是硅片生产中一种基础的常用器件，其原理是利用中间的滚轴和硅片自带的统一直线切口，经过若干圈的转动之后，使得花篮内的硅片整齐朝向统一方向。