光伏未来将走进薄膜时代

　　作为大部分国家提供薄膜太阳能模块Turn-Key服务的厂商Oerlikon的薄膜太阳能电池解决方案提供了中试线的选择，其玻璃基板与量产基板尺寸相同。中试线与量产线不同之处在于反应腔室的数量，两者分别为1：20，在中试线上研发成功的工艺可以直接移植到量产生产线上，这使电池生产厂商在投入大规模量产之前可以对工艺进行自主改善，进而提高产能与转化效率。
　　Oerlikon于2007年9月推出的非晶微晶的工艺解决方案，较早由Oerlikon现任CTO Johannes Meier于1994年在IMT提出，这种结构能够拓展吸收的光谱范围，从而大大的增加对光的吸收能力。采用非晶微晶的薄膜太阳能电池稳定后的转换效率可以达到9%左右，在量产之后，通过加工技术的提升，还可以进一步提高转换效率。
　　据孙海燕博士介绍,非晶工艺和非晶微晶工艺的主要区别在于PECVD工艺，后者在镀膜的过程中需要40MH的非常高频，以获得高沉积速率、高均匀性以及低损伤。所以Oerlikon早在20年前开发薄膜太阳技术及设备时，将其开发要点集中在PECVD设备非常高频电源与反应器装置的开发。非常高频电源应用主要的目的在于使薄膜淀积又快又好，即在薄膜的淀积过程中，使产生的等离子既不能破坏膜的结构，同时薄膜的淀积速度要快。而用于薄膜淀积的Oerlikon的反应器是一个高温等温装置，反应器内温度的控制非常重要，因为非晶硅是长程无序短程有序硅的一种非稳态，在等温下形成致密的薄膜的过程相当于在接近于稳定状态下形成的亚稳态，所制备的电池结构相对稳定，初始衰减相对少。
　　虽然薄膜电池将主要未来光伏市场的呼声不断，但要在未来的5-10年取代晶体硅太阳能电池成为光伏市场的主流可能需要相当的工作和努力。常州天合光能重要地位运营官邹西原认为，由于用于晶体硅电池制造的硅原料取得相对容易，晶体硅电池量产技术成熟和较高的转换效率，而在可预见的未来几年，晶体硅太阳能电池仍然会是市场的主流。应用材料（中国）有限公司太阳能事业部总经理王瑞萍认为，晶体硅和薄膜这两种技术在很长一段时间内会齐头并进，相辅相成，也许会永远并存。