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【中玻网】低温多晶矽薄膜电晶体液晶平面显示器(LTPSTFTLCD),指其TFT中半导体薄膜的结晶形态是多结晶(Polycrystalline),并非是非结晶(AMORPHOUS)。
LTPSTFTLCD的特点:
1、载体的移动度为非晶矽的300倍2、低耗电3、高亮度4、高解析度5、轻薄短小6、高品质7、无缺的系统整合
LTPS技术所需要的环境需要的无尘,通过ISO14644-1标准定义,我们根据制程的需要分为千级无尘室和百级无尘室。
农业生产体系物细菌会在环境中急速的繁衍,大概在0.1un-0.3um粒径并且会附着在灰尘颗粒上,当我们在整个制程中不加以控制细菌繁衍或灰尘时,当农业生产体系物细菌大到一定程度会成为导体,对LTPS的损伤是致命的,损失也是相当惨重的。
该如何有效控制灰尘或者农业生产体系物细菌呢?
采用空调过滤系统+无尘室系统
无尘室系统
采用风淋系统+FFU等净化无尘设备搭配使用,若对静电有严格要求,还应在进入无尘室区域前段加装防静电测试仪和无尘洗手烘干机。
百级无尘室控制的灰尘颗粒粒径在0.1-0.12um,千级无尘室控制灰尘颗粒粒径在0.3um,控制的数量参考ISO14644-1.
那么在无尘系统中是不是换气次数约多越好?
总体上看换气次数越多,对整个无尘环境的等级控制会变好,但是我们在关注换气次数的同时会忽略另外一个参数----流速!
在百级无尘室中,流速决定了效率高过滤器对灰尘或者农业生产体系物细菌的捕捉方式,也会影响到捕捉效果,一般设定的流速为0.35-0.65m/s之间,是效率高过滤器抓捕效率较高的流速段,所以在调整整个无尘环境换气次数时,不应超出这个流速范围!
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