高纯镍铬靶材 镍铬合金靶材 镍铬靶材成分比例 喷涂镍铬靶材

半导体是对靶材组成、结构和性能要求级高的领域。中国半导体靶材市场增长迅速。尤特新材主要产品为各种高纯溅射靶材，包括铝靶、钛靶、钽靶、钨钛靶等，这些产品主要应用于超大规模集成电路芯片、液晶面板、薄膜太阳能电池制造的物理气相沉积(PVD)工艺，用于制备电子薄膜材料。目前，公司产品主要应用于半导体、平板显示器及太阳能电池等领域。在超大规模集成电路用高纯金属靶材领域，公司成功打破美国、日本跨国公司的垄断格局，填补了国内电子材料行业的空白。公司已经逐步建立了高品质、高纯度溅射靶材专业生产商的良好品牌形象。

ITO靶材成形的工艺有冷静压成。ITO/Si异质结光电器件与p-n结光电池比较具有工艺简单,转换效率高等特点。在靶材制造的过程中，需要经历粉末冶炼、粉末混合、压制成型、气氛烧结、塑性加工、热处理、超声探伤、机械加工、水切割、机械加工、金属化、绑定、超声、超声清洗、检验出货。ITO有着多种功用,首先ITO为高带隙材料,可用作光电池的光入射窗口,又可作为收集光电流的电极,在基底半导体Si上形成势垒作为SIS结的一层以及抗反射层。铟是中国在储量上占据优势的资源。磁控溅射一般分为二种：直流溅射和射频溅射。其中直流溅射设备原理简单，在溅射金属时，其速率也快。而射频溅射的使用范围更为广泛。除可溅射导电材料外。也可溅射非导电的材料，同时还可进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。合金靶材。

磁控溅射技术是一种先进的高质量薄膜沉积手段。其工作原理为：电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与溅射气体原子发生碰撞，电离出大量的正离子和电子。电子飞向基片，而正离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上终形成所需的薄膜。硅(Si)基溅射靶材是众多溅射靶材中发展为迅速且应用较广的一种靶材。Si是一种传统的半导体材料，近几年由于磁控溅射制备薄膜技术的发展使得其在很多领域得到新的应用。

目前磁控溅射沉积的硅基薄膜已经应用在触摸传感器、建筑节能用low-e玻璃，以及汽车镀膜玻璃等领域。磁控溅射用硅铝靶材一般通过等离子喷涂工艺制成，但所制得靶材致密度较低，相对密度只有90％左右。密度小的靶材在溅射过程中易出现结瘤、掉粉等缺陷，影响镀膜产品的质量和生产稳定性。申请公布号1098350A的中国发明****申请：硅铝溅射靶材的制备方法，公开了一种通过真空大气等离子喷涂技术，制得相对密度达97％的硅铝靶材。但该****中并未陈述其利用这种方法实际制备靶材的密度。并且真空等离子喷涂较大气等离子喷涂，增加了背管预热、抽真空、充入惰性保护气体等一系列步骤，工艺复杂且成本较高。

在被溅射的靶(阴)与阳之间加个正交磁场和电场，在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气)，在电场的作用下，Ar气电离成正离子和电子， 靶上加有定的负高压，从靶发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率加大，在阴附近形成高密度的等离子体，Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面， 以很高的速度轰击靶面，使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。

MINILED及MicLED是近年来显示领域发展的新型显示技术，广泛应用于VR、平板、电竞笔电、显示器等领域。尤特新材料项目投资总额为2亿元。HIT电池结构，中间衬底为N型晶体硅，通过PECVD方法在P型a-Si和c-Si之间插入一层10nm厚的i-a-Si本征非晶硅，在形成pn结的同时。背面为20nm厚的本征a-Si：H和N型a-Si：H层，在钝化表面的同时可以形成背表面场。由于非晶硅的导电性较差，射技术溅射TCO膜进行横向导电，采用丝网印刷技术形成双面电极，使得HIT电池有着对称双面电池结构。对靶磁控溅射原理：1-N极；2-对靶阴极；3-阴极暗区；4-等离子体区；5-基体偏压电源；6-基体；

广州市尤特新材料有限公司（以下简称“尤特”），成立于2003年，位于羊城广州的北面-花都,占地总面积约3万平方米。尤特是一家专注于时尚消费电子产业、节能绿色环保产业、新材料新技术开发和应用的重要高新技术企业。尤特以生产信息存储记录材料为起点，经过10多年的开拓与发展，产业技术不断迭代与升级，尤特的技术及应用涉猎范围逐步扩大，其中主要包括：真空镀膜靶材；环保（UV/水性）材料；触控显示材料；印刷技术及材料；信息存储材料、导电散热材料等。尤特一直倡导“新材料、促环保、美生活”企业使命。尤特遵循科学体系管理，先后通过《质量管理体系》、《环境管理体系》、《职业健康与安全管理体系》认证并有效运行，产品符合全部环境及安全标准；获得SONY GP绿色合作伙伴全部认证等。尤特重视产品研发及技术创新，先后与"武汉大学"、"华南理工大学"、"中南大学"等高校、研究所建立"产学研"合作机制，并承担多项省市立项的科研项目，公司目前已拥有几十项自主研发新兴材料及工艺的知识产权，是广州市扶持科技型要点培育上市企业。尤特先后获得相关机构的授予多个荣誉：如“国家生产力促进奖、国家有名商标、广东省守合同重信用企业、广东省雇主责任示范企业、广州市安全生产标准化达标企业、广州市工程技术研发中心、广州科技小巨人企业、地方纳税企业”等荣誉。尤特全体同仁秉承“创造价值，分享价值“的核心价值观，借鉴以往成功管理运营经验，持续深挖磁控溅射镀膜材料下游应用市场，不断拓宽市场应用领域，做优做强镀膜材料产业,将公司打造为--磁控溅射靶材行业者。