sun-e玻璃-概要
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Sun-E 即Sun-E玻璃,是一种在线CVD低辐射镀膜玻璃,该产品为具有21世纪先进水平的绿色、节能、环保玻璃,是一种新型的、在线生产的太阳光热解CVD多层镀膜环保玻璃,其膜层选择性透过可见光(可见光透过率40%-60%),遮阳系数低,是最适合热带地区的节能环保窗用材料.垂直式生产工艺中,玻璃垂直放置在架子上,送入10-1帕数量级的真空环境中,通入适量的工艺气体(惰性气体Ar或反应气体O2、N2),并保持真空度稳定。将靶材Ag、Si等嵌入阴极,并在与阴极垂直的水平方向置入磁场从而构成磁控靶。以磁控靶为阴极,加上直流或交流电源,在高电压的作用下,工艺气体发生电离,形成等离子体。其中,电子在电场和磁场的共同作用下,进行高速螺旋运动,碰撞气体分子,产生更多的正离子和电子;正离子在电场的作用下,达到一定的能量后撞击阴极靶材,被溅射出的靶材沉积在玻璃基片上形成薄膜。为了形成均匀一致的膜层,阴极靶靠近玻璃表面来回移动。为了取得多层膜,必须使用多个阴极,每一个阴极均是在玻璃表面来回移动,形成一定的膜厚。