氧化钛靶材密度,氧化钛靶材颜色,氧化钛靶材用途

氧化物陶瓷靶材属于陶瓷产品，由于对纯度、密度、尺寸、形状，以及成分、结构、均匀性等都有特殊要求，其制备南都较高。氧化物陶瓷靶材作为重要的关键基础材料，多年来一直被靶材研究人员关注。与德国、日本等世界靶材强国相比，我国陶瓷靶材研究相对落后，但是近年来，随着全球光电产业的发展，国内大型靶材公司加大投入，取得了很大的成果。

陶瓷靶材结构的发展镀膜市场不仅对各种镀膜产品尺寸、镀膜品质、生产效率及制造成本提出了严格的要求，也对陶瓷靶材的结构提出了新的要求。纵观陶瓷靶材的研究历程以及市场需求状况，陶瓷靶材结构的发展趋势主要体现在以下几方面。

1. 组织均匀：靶材作为制备大面积薄膜的原材料，如果组织结构不均匀，则会严重影响到薄膜的厚度、组分等均匀性，对薄膜性能的均匀性产生很大的影响。如ITO、AZO或IGZO靶材，同一块靶材或者同一批次靶材其密度均匀性越高，溅射时越不易中毒而产生节瘤，而且制备的薄膜厚度、方阻、透光率更均匀。

2. 高密度化：虽然提高靶材的密度增加了靶材制造的难度，但是对靶材的使用，薄膜产品的质量以及综合成本的降低有明显的好处。高密度靶材其表面粗糙度低，有效溅射面大，溅射效率高，靶材本身表面黑化趋势降低，并且制得的薄膜电阻率低 。同时，高密度陶瓷靶材可以提高靶材的使用寿命，从而降低了靶材的使用成本。

尤特新材是国家高新技术企业，公司成立于二00三年，有经验从事信息、镀膜、太阳能材料的科研与生产，是集科研、生产、销售、服务于一体的中外合资企业。

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